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ポゴタワー
ポゴタワーとは、半導体テスターのテストヘッドとプローブカード間の機械的および電気的なインターフェースです。これは、安定した高精度な接続を確立し、テスト信号および電源電圧をテスターからプローブカードへ確実に伝送します。その際、ポゴタワーは多数の(バネ式の)コンタクトプローブを介して、正確な位置合わせと均一な接触を確保します。 この構造により、再現性のある測定条件、高い信号品質、およびテストプロセス中の被試験デバイスへの確実な接触が保証されます。
よくある質問
これは、テストヘッドとプローブカード間の正確かつ均一な接続を実現する、多数のスプリングコンタクトプローブ(ポゴピン)を使用しています。
ポゴタワーは、半導体バックエンドおよびウェーハ試験に使用されます。
高い並列性、正確な位置合わせ、低い移行抵抗、そしてピン数が多い場合でも信頼性の高い信号伝送を確保する必要があります。
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