プローブカード
プローブカードとは、自動テストシステムにおいて、テストシステムと被試験体(ウェハーや半導体デバイスなど)との間で電気信号を正確に伝送するために使用される接点ユニットです。これにはコンタクトプローブや特殊な接点構造が含まれており、多数のテストポイントに対して同時に再現性のある接点を確立することを可能にします。プローブカードは、高い信号完全性、正確な位置決め、および安定した測定条件を実現するように設計されています。
FEINMETALLの製品ラインナップには、ViProbe®、ViProbe® II、FeinProbe®、LiProbe®など、さまざまなテストカードソリューションが含まれています。これらのソリューションは、スプリングコンタクトプローブやMEMSラメラコンタクトなどの多様な接点技術を採用しており、ウェーハテスト、高周波テスト、大電流テストといった要求の厳しい用途向けに設計されています。
よくある質問
プローブカードには、正確な信号伝送のためのコンタクトプローブ、コンタクト構造、または特殊なコンタクト技術が含まれています。
プローブカードは、接触点の正確な位置決め、高い信号完全性、低い移行抵抗、および試験プロセスにおける高い再現性を保証する必要があります。
FEINMETALL の試験カードソリューションには、さまざまな半導体およびウェーハ試験用途向けに開発されたViProbe®、ViProbe® II、FeinProbe®、LiProbe® などがあります。
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